主要功能:
1. 二次电子形貌(SEI):对试样进行表面形貌观察分析;
2. 背反射成分像/形貌像(BEI):对试样进行更深一层的形貌观察,并得到原子序数衬度;
3. 元素的定性定量分析(EDX):结合X射线能谱仪对试样表面某区域或某点进行成分定性和定量分析;
4. 图像分析处理系统(IPS):根据所得图像,对试样进行粒度、孔径大小、气孔分布等进行分析。
主要技术指标:
(1)分辨率:1.0nm (15kV);1.0nm (1kV)
(2)加速电压:0.5 ~ 30kV,0.1kV/步
(3)放大倍率:×20 ~ ×800,000
(4)束流强度:1pA~2nA
(5)样品室和样品台:样品台驱动:3轴马达驱动;移动范围:X:0~50mm;Y:0~50mm;Z:1.5~30mm;T:-5~+70°;R:360°;最大样品尺寸:100mm
(6)HORIBA EX-250型能谱仪。分析元素范围:Be4~U92号元素。