1. 常规XPS，鉴别样品表面的元素种类、化学价态以及相对含量。双阳极XPS，更适合用于不同的特殊过渡金属元素的研究，如催化领域。
2．微区XPS分析（单色化XPS），用于样品微区（＞20μm）表面成分分析，高能量分辨的化学态分析
3．深度剖析XPS，结合离子刻蚀技术对样品（如薄膜等）进行成分深度分布分析。通过角分辨XPS还可以进行非损伤成分深度分布分析。
4．XPS成像，可以对元素或化学态进行表面面分布分析，使一些分析结果更直观。
5．反射电子能量损失谱REELS技术，可实现氢元素的检测。
6．离子能量损失谱ISS，可实现样品表面元素信息的检测。
7．紫外光电子能谱（UPS），可以获得样品价带谱信息，对导体、半导体的能带、带隙等分析提供主要数据。还可以分析样品逸出功等。
8. 变温（液氮制冷，加热）条件下测试。 9. 原位测试。 | 