可实现高分辨率图像的观察，还可以实现高空间分辨率 (纳米尺度的) 的结构、成分的分析。该仪器主要用于材料的显微形貌、晶体结构和相组织分析，结合配置的能谱仪（EDS）可以进行样品微区的化学成分定性和半定量检测。广泛应用于能源、化工、环境、生命科学、制药、材料等领域。

日本电子，JEM-2100F场发射电子显微镜
　　超高分辨极靴 (UHR)
　　点分辨率：0.23nm；线分辨率：0.1nm
　　STEM (HAADF)分辨率：0.20nm
　　最小束斑：0.5nm
　　能谱仪 (EDS)：能量分辨率：~130eV (MnK线) ，元素范围：5B ~ 92U

设备功能：
　　主要用于无机材料微观结构与组成的分析和研究，仪器的功能包括：
　　电子衍射：选区衍射、微束衍射、会聚束衍射
　　成像：衍衬像（明、暗场像）、高分辨像 (HREM)、扫描透射像 (明场像、环状暗场像)
　　微区成分：EDS能谱的点、线和面分析
　　

场发射电子枪，EDS，STEM System (扫描透射附件)，GANTAN CCD相机：832 ORIUS？ SC1000 CCD，离子清洗机